..соли или соединения диазония
..невысокомолекулярные фотополимеризующиеся соединения, имеющие тройные углерод-углеродные связи, например ацетиленовые соединения
..невысокомолекулярные фотополимеризующиеся соединения, имеющие двойные углерод-углеродные связи, например этиленовые соединения
..высокомолекулярные соединения, обрабатываемые для придания нерастворимости или различной смачиваемости
..высокомолекулярные соединения, разлагающиеся под действием света, например позитивные электронные резисты
..кремнийсодержащие соединения
..светочувствительные составы, отличающиеся высокомолекулярными добавками, придающими адгезионные свойства
..отличающиеся конструктивными элементами, например подложками, вспомогательными слоями