G03F 1/86....с помощью потока заряженных частиц

МПК Классификатор МПК
  • Раздел G ФИЗИКА
    • G03 Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
      • G03F Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей
        • G03F 1/00 Оригиналы для фотомеханического получения текстурированных или фигурных поверхностей, например масок, фотомасок, сеток; бланки фотомасок или пленки для них; контейнеры, специально предназначенные для них; их изготовление
          • G03F 1/68 .процессы изготовления, не отнесенные к группам G03F 1/20 — G03F 1/50
            • G03F 1/82 ..вспомогательные процессы, например чистка
              • G03F 1/84 ...проверка
                • G03F 1/86 ....с помощью потока заряженных частиц
Приходько Илья Викторович
Эксперт Prilan - Профессиональное консультирование, Оказание услуг и Подбор эксперта для защиты интеллектуальной собственности Стаж более 15 лет.
Приходько Илья Викторович
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос
Задать вопрос