G03F 1/68.процессы изготовления, не отнесенные к группам G03F 1/20 — G03F 1/50

Запатентовать ИЗ Запатентовать ПМ Оценить ИЗ, ПМ Аннулировать ИЗ, ПМ

МПК Классификатор МПК

Раздел G ФИЗИКА
- G03 Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
  - G03F Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей
    - G03F 1/00 Оригиналы для фотомеханического получения текстурированных или фигурных поверхностей, например масок, фотомасок, сеток; бланки фотомасок или пленки для них; контейнеры, специально предназначенные для них; их изготовление
      - G03F 1/68 .процессы изготовления, не отнесенные к группам G03F 1/20 — G03F 1/50

КодНаименование

..приспосабливание основного оригинала или рисунка масок к требованиям литографического процесса, например повторный цикл коррекции шаблонов маски для изображения

G03F 1/72

..исправление или коррекция дефектов масок

G03F 1/76

..получение шаблонов масок с помощью изображения

G03F 1/80

..травление

G03F 1/82

..вспомогательные процессы, например чистка

Эксперт Prilan. Профессиональное консультирование и помощь в области защиты интеллектуальной собственности более 15 лет.

Приходько Илья Викторович

Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос

Задать вопрос

G03F 1/68.процессы изготовления, не отнесенные к группам G03F 1/20 — G03F 1/50

Благодарим за обращение в нашу компанию!

Заказать обратный звонок