G03F 1/40..особенности, относящиеся к электростатическому заряду , например антистатические покрытия или проводящий металлический слой вокруг периферии подложки маски

    МПК Классификатор МПК
    • Раздел G ФИЗИКА
      • G03 Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
        • G03F Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей
          • G03F 1/00 Оригиналы для фотомеханического получения текстурированных или фигурных поверхностей, например масок, фотомасок, сеток; бланки фотомасок или пленки для них; контейнеры, специально предназначенные для них; их изготовление
            • G03F 1/38 .маски, обладающие дополнительными особенностями, например специальными покрытиями или отметками для выравнивания или проверки; их изготовление
              • G03F 1/40 ..особенности, относящиеся к электростатическому заряду , например антистатические покрытия или проводящий металлический слой вокруг периферии подложки маски
Приходько Илья Викторович
Эксперт Prilan. Профессиональное консультирование и помощь в области защиты интеллектуальной собственности более 15 лет.
Приходько Илья Викторович
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос
Задать вопрос