G03F 1/34..фазово-кромочные PSM, например бесхромные PSM; их изготовление

    МПК Классификатор МПК
    • Раздел G ФИЗИКА
      • G03 Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
        • G03F Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей
          • G03F 1/00 Оригиналы для фотомеханического получения текстурированных или фигурных поверхностей, например масок, фотомасок, сеток; бланки фотомасок или пленки для них; контейнеры, специально предназначенные для них; их изготовление
            • G03F 1/26 .маски с фазовым сдвигом ; PSM бланки; их изготовление
              • G03F 1/34 ..фазово-кромочные PSM, например бесхромные PSM; их изготовление
Приходько Илья Викторович
Эксперт Prilan. Профессиональное консультирование и помощь в области защиты интеллектуальной собственности более 15 лет.
Приходько Илья Викторович
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос
Задать вопрос