G03F 1/26.маски с фазовым сдвигом ; PSM бланки; их изготовление

МПК Классификатор МПК
  • Раздел G ФИЗИКА
    • G03 Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
      • G03F Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей
        • G03F 1/00 Оригиналы для фотомеханического получения текстурированных или фигурных поверхностей, например масок, фотомасок, сеток; бланки фотомасок или пленки для них; контейнеры, специально предназначенные для них; их изготовление
          • G03F 1/26 .маски с фазовым сдвигом ; PSM бланки; их изготовление
КодНаименование
..PSM c тремя или более разными фазами; их изготовление
..кольцевые PSM или откидные PSM; их изготовление
..перемежающиеся PSM, e.g. Левинсон-Шибайя PSM; их изготовление
..ослабляющие PSM , например полутоновые PSM или PSM с полупрозрачным участком со сдвигом фазы; их изготовление
..фазово-кромочные PSM, например бесхромные PSM; их изготовление
Приходько Илья Викторович
Эксперт Prilan - Профессиональное консультирование, Оказание услуг и Подбор эксперта для защиты интеллектуальной собственности Стаж более 15 лет.
Приходько Илья Викторович
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос
Задать вопрос