G03F 1/22.маски или бланки масок для формирования изображения с помощью излучения с длиной волны 100 нм или меньше, например рентгеновские маски, маски далекого ультрафиолетового диапазона ; их изготовление

Сервис Prilan использует cookie, чтобы сайт работал лучше