.маски или бланки масок для формирования изображений с помощью излучения потока заряженных частиц , например, с помощью электронного потока; их изготовление
.маски или бланки масок для формирования изображения с помощью излучения с длиной волны 100 нм или меньше, например рентгеновские маски, маски далекого ультрафиолетового диапазона ; их изготовление
.маски с фазовым сдвигом ; PSM бланки; их изготовление
.маски, обладающие свойствами приблизительной коррекции; их изготовление, например процессы оптической коррекции эффекта близости изображения
.маски, обладающие дополнительными особенностями, например специальными покрытиями или отметками для выравнивания или проверки; их изготовление
.бланки масок, не отнесенные к группам G03F 1/20 — G03F 1/26; их изготовление
.абсорбенты, например матовые материалы
.пленки или пакеты пленок, например имеющие мембрану на каркасе подложки; их изготовление
.контейнеры, специально приспособленные для масок, бланков масок или пленок; их изготовление
.процессы изготовления, не отнесенные к группам G03F 1/20 — G03F 1/50
.полученные с помощью фотографических процессов для производства оригиналов с имитируемым рельефом
.полученные с помощью процессов монтажа
.полученные с печатных поверхностей
