C23C 16/00Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП)

Сервис Prilan использует cookie, чтобы сайт работал лучше